MEMS陀螺仪又被称之为MEMS传感器，MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元，在设计上按照一个音叉机制共振运动，通过科里奥利力原理把角速率转换成一个特定感测结构的位移。以一个单轴偏移（偏航，YAW）陀螺仪为例，通过图利探讨简单的工作原理。光纤陀螺仪(FOG)以前曾经是环形激光陀螺仪(RLG)等其他技术的低成本替代品，现在该技术面临自爱普生高精度陀螺仪新的竞争。微机电系统MEMS陀螺仪开始抢夺传统FOG应用的市场份额。具体来说，天线阵列稳定、农业机械控制、常规车辆导航成为MEMS和FOG对峙的战场。MEMS陀螺仪应用可以从早的汽车电子到近些年来的消费电子，和即将来到的物联网时代。如今单一的传感器已不能满足人们对功能、智能的需要，像包括MEMS惯性传感器、MEMS环境传感器、MEMS光学传感器、甚至生物传感器等多种传感器数据融合将成为新时代传感器应用的趋势。

MEMS陀螺仪与FOG光纤陀螺仪相比从性能参数看非常接近，特别是EPSON新推出的MG365,MG370等系列参数已经达到了FOG战术级性能水平，但其成本却比其低出数倍。如果可以使用GNSS，而且应用的目的是在开放天空环境中运行，MEMS陀螺仪可以取代FOG光纤陀螺仪。如果应用能够接收车辆或平台速度更新，则爱普生MEMS陀螺仪系统可以达到与独立FOG系统相同的水平。这将迅速加速六轴陀螺仪在自动驾驶汽车等领域的推广应用。