当前位置:首页 > 压电资讯 > 正文内容

为什么晶圆是圆的?芯片是方的?

小王137134492904个月前 (12-16)压电资讯721
晶圆为什么是圆的而不是方的?
按理说,方型的Die放在圆形的Wafer里总会不可避免有空间浪费,为什么不做成方型的更节省空间。

因为制作工艺决定了它是圆形的。提纯过后的高纯度多晶硅是在一个子晶(seed)上旋转生长出来的。多晶硅被融化后放入一个坩埚(Quartz Crucible)中,再将子晶放入坩埚中匀速转动并且向上提拉,则熔融的硅会沿着子晶向形成一个圆柱体的硅锭(ingot)。


这种方法就是现在一直在用的CZ法(Czochralski),也叫单晶直拉法。如下图:


然后硅锭再经过金刚线切割变成硅片:

硅片经过打磨等处理后就可以进行后续的工序了。


单晶直拉法工艺中的旋转提拉决定了硅锭的圆柱型,从而决定晶圆是圆形的。


直拉法的过程是先在坩埚中将高纯硅加热为熔融态,再将晶种(籽晶)置于一根精确定向的棒的末端,并使末端浸入熔融状态的硅,然后将棒缓慢向上提拉并旋转。


通过对提拉速率、旋转速率与温度的精确控制,就可以在棒的末端得到一根较大的圆柱状单晶硅棒,后续再对硅棒进行打磨、抛光、切割等工序后,就能得到一片可用的圆形的硅片了。所以说,晶圆的圆是因为硅棒“圆”。不过准确来说,晶圆并不是完全的圆形。


为什么后来又不圆了呢?其实中间有个过程被掠过了,即Flat/Notch Grinning。


通常硅片在加工为晶圆后周围会磨出一个缺口。


在200mm以下的硅锭上是切割一个平角,叫做Flat。


在200mm(含)以上硅锭上,为了减少浪费,只裁剪个圆形小口,叫做Notch。切片后晶圆就变成了这样:


如果你仔细看本文的第一个图,就会发现它其实是有缺一个小豁口的。


为什么要这样做呢?其实,这个小豁口因为太靠近边缘而且很小,在制作Die时是注定没有用的,这样做可以帮助后续工序确定Wafer摆放位置,为了定位,也标明了单晶生长的晶向。


定位设备可以是这样:


这样切割和测试都比较方便。严格意义上所有的Wafer都不是圆形的。如果忽略Flat/Notch这些小问题,那它的圆形由工艺所决定。


圆形的芯片其实更难制造


硅片在经过涂胶、光刻、刻蚀、离子注入等步骤后,一颗颗芯片才会被制造出来,不过此时芯片还是“长”在晶圆上的,需要经过切割才能变成一颗颗单独的芯片。


想象一下,方形的芯片仅需几刀就可以全部切下。如果是圆形的芯片呢?恐怕就要耗费比方形几倍的时间来切割了。从封装方向看,方形的芯片也便于进行引线操作,即使是Flip chip型封装,方形也更方便机器操作芯片将I/O接口与焊盘对齐。


最重要的一点,圆形芯片并不能解决硅片面积浪费的问题。在一个晶圆上切下许多方形区域,这些区域中间不会有缝隙,仅会在晶圆边缘留下空余。但如果从一个平面上切下很多圆形的区域,中间就一定会有部分区域被浪费,同时还不能避免晶圆外围的浪费。


其实节约晶圆面积始终是一项重要课题。晶圆上能生产的芯片越多,生产效率就越高,单颗芯片的成本也越低。目前解决生产效率的最好方法就是提高晶圆面积。


从图片中可以简单看出,当芯片面积固定时,采用更大的晶圆可以有效提升晶圆利用率。以国际上Fab厂通用的计算公式看: 

在12寸晶圆上生产100mm²的芯片约能生产660块芯片,而采用8寸晶圆,就只有180块芯片,晶圆面积减少50%,但芯片数量却少了72%。


因此,目前12寸晶圆成为全球更大IDM与foundry厂商的主要战场。我国目前只有少量企业拥有12英寸的半导体硅片制造技术,国内企业正在加速追赶世界前列。 


最后总结一下标题提出的问题,芯片为什么是方的?圆形芯片难以切割,后续封装阶段也不方便控制,最重要的是,圆形芯片不能解决晶圆面积浪费的问题。为什么晶圆是圆的?在生产芯片的过程中,圆形晶圆由于力学因素生产更方便,良率更高,且硅棒天然是圆柱型,晶圆自然也就是圆形了。


免责声明:文章来源“ 中国科学院半导体研究所”公众号,转载此文出于传递更多信息之目的,仅为分享和学习使用,不做任何商业用途,不代表本公司观点,如涉及作品内容、版权和其他问题,请及时联系删除。


扫描二维码推送至手机访问。

版权声明:本文由压电侠晶振资讯网发布,如需转载请注明出处,如有侵权请联系删除。

本文链接:https://news.piezoman.com/piezo/6224.html

分享给朋友:

“为什么晶圆是圆的?芯片是方的?” 的相关文章

晶振分正负极吗(晶振有正负吗怎样区分正负急)

本文目录晶振有极性吗晶振有正负吗怎样区分正负急晶振有极性吗一般来说,晶振是没有极性的,因为实际用到的晶振大多是无源晶振。晶振可分为有源晶振和无源晶振两类。无源晶振只有两个引脚,没有所谓的正负极。有源晶振需要接电源才能工作,一般有四个引脚,其中有两个电源输入引脚,有正负极之分。晶振有正负吗怎样区分正负...

16mhz晶振(晶振6mhz定时器最大定时时间)

本文目录262982晶振是什么频率12mhz晶振的振荡周期定时器上晶振多大的晶振6mhz定时器最大定时时间晶振什么样晶振型号代表什么意思262982晶振是什么频率262982晶振的频率是26.2982MHz。晶振,全称为晶体振荡器,是一种电子元件,它使用石英晶体的压电效应来产生稳定的频率。这个频率被...

晶振谐振(晶体管和晶振什么区别)

本文目录晶振属于半导体吗晶体管和晶振什么区别晶振电路的主要参数晶振没电压怎么办32768k晶振谐振电容多少晶振有哪些基本分类晶振属于半导体吗不属于半导体器件。半导体器件是由半导体材料(硅、锗、砷化镓等)制成的各类器件,如半导体二极管、三极管、集成电路等。晶振.是利用石英晶体的压电效应而制成的谐振元件...

晶振寿命(455e的晶振会坏吗)

本文目录晶振的原理455e的晶振会坏吗晶振为什么镀金晶振的原理1是通过电压的作用使晶体振动产生特定频率的信号。2晶振内部有一个晶体,当施加电压时,晶体会因为电场的作用而发生形变,然后恢复原状,这个过程会反复进行,从而产生振动。这种振动的频率由晶体的物理特性决定。3晶振的频率稳定性较高,可以提供精确的...

晶振影响(蓝牙晶振热稳定不良有什么影响)

本文目录晶振停振有哪些原因455e的晶振会坏吗5ppm晶振什么意思蓝牙晶振热稳定不良有什么影响如果晶振有一点点误差好不好影响程序执行超声波对晶振的影响晶振停振有哪些原因1.当晶体频率发生频率漂移,且超出晶体频率偏差范围过多时,以至于捕捉不到晶体的中心频率,从而导致芯片不起振。2.在压封时,晶体内部要...

晶振的误差(一般芯片的内部晶振偏差多大)

本文目录电子表正负误差的原因一般芯片的内部晶振偏差多大晶振频率出现偏差怎么办内部晶振误差是2%跟外部晶体比谁的精度高晶振的精度是多少晶振的频率不能太高的原因是什么电子表正负误差的原因是晶振与电路谐振误差一般芯片的内部晶振偏差多大如果是长时间,肯定是实时时钟好,精度的话,10MHz你要看晶振本身的精度...

发表评论

访客

看不清,换一张

◎欢迎参与讨论,请在这里发表您的看法和观点。